1概覽

The leading nano metrology tool for failure analysis and large sample research

作為一位失效分析工程師，您的任務(wù)是提供結(jié)果。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這架精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和硬盤行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

More powerful failure analysis solutions

Park NX20具備無二的功能，可輕易找出儀器失效的原因并幫助制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，True Non-Contact™掃描模式讓探針更鋒利、更耐久，無需為頻繁更換而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金錢。

Easy to use, even for entry level engineers

Park NX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)監(jiān)督初級(jí)工師。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問題并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析。

2技術(shù)信息

Accurate AFM Solutions for FA and Research Laboratories

Sidewall measurements for 3D structure study

NX20的創(chuàng)新構(gòu)造讓您可以檢測(cè)樣品的側(cè)壁和表面，并能夠測(cè)量角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所的。

Surface roughness measurements for media and substrates

表面光潔度測(cè)量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來精確的失效分析和質(zhì)量保證。

High resolution electrical scan mode

QuickStep SCM  的掃描式電容顯微鏡  

 PinPoint iAFM  無摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

         Tip Wearing Experiment with CrN Sample

? 通過對(duì)比重復(fù)掃描情況下探針的形狀變化，您可以輕易看到Park的True Non-Contact模式的優(yōu)勢(shì)之處。

                        Reproduce Best AFM Measurement

? 借助True Non-Contact模式，探針在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測(cè)樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強(qiáng)，會(huì)讓普通的探針很快變鈍。

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

我們的原子力顯微鏡配有的低噪聲Z軸探測(cè)器，寬噪音帶寬僅有0.02 nm。這能夠帶來超精確的樣品形貌，不會(huì)受沿過沖影響，而且無需校準(zhǔn)。這僅僅是Park原子力顯微鏡為您節(jié)省時(shí)間，帶來更好精確數(shù)據(jù)的方式之一。

3原子力顯微鏡模式

QuickStep SCM Mode

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡模式是針對(duì)探針和樣品之間的指定電接點(diǎn)而開發(fā)設(shè)計(jì)的。在電流采樣過程中，XY軸掃描器會(huì)依據(jù)用戶設(shè)定的接觸時(shí)間停止。PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡模式能夠帶來更高的空間分辨率，且不受 側(cè)向力的影響，同時(shí)在不同樣品表面的電流測(cè)量也得到優(yōu)化。

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡模式是針對(duì)探針和樣品之間的指定電接點(diǎn)而開發(fā)設(shè)計(jì)的。在電流采樣過程中，XY軸掃描器會(huì)依據(jù)用戶設(shè)定的接觸時(shí)間停止。PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡模式能夠帶來更高的空間分辨率，且不受 側(cè)向力的影響，同時(shí)在不同樣品表面的電流測(cè)量也得到優(yōu)化。

通過對(duì)比氧化鋅納米棒在不同類型的導(dǎo)電原子力顯微鏡圖像，我們可以看到相比輕敲式導(dǎo)電原子力顯微鏡，傳統(tǒng)的接觸式導(dǎo)電原子力顯微鏡有著更高精度的電流測(cè)量，但其分辨率低，原因在于探針在接觸中快速磨損。全新的PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡不但空間分辨率更高，且電流測(cè)量也得到優(yōu)化。

High-bandwidth, Low-noise Conductive AFM

導(dǎo)電原子力顯微鏡是各類元件研究的重要工具，特別是工業(yè)的失效分析。Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場(chǎng)中競(jìng)爭(zhēng)力，不但有著全行業(yè)的電流噪聲，且增益范圍也是。

? The lowest current noise 業(yè)內(nèi)的電流噪聲(0.1 pA)

? 業(yè)內(nèi)的電流(10 μA)

? 的增益范圍（7個(gè)數(shù)量級(jí)，103-109）