英特爾愛爾蘭芯片制造工廠迎來首臺EUV光刻機

2022-04-12 10:19:35來源：cnBeta.COM 關(guān)鍵詞：芯片 EUV光刻機閱讀量：21470

導(dǎo)讀：芯片巨頭英特爾在位于愛爾蘭 Leixlip 的 Fab 34 工廠，完成了首臺極紫外(EUV)光刻機的安裝。兩個月前，該公司才開始在該晶圓廠安裝首臺芯片制造設(shè)備。而由荷蘭阿斯麥（ASML）制造的這臺 EUV 光刻機，先是被運到了美國俄勒岡州的 Hillsboro，接著又被轉(zhuǎn)運到了歐洲。

　　上周，芯片巨頭英特爾在位于愛爾蘭 Leixlip 的 Fab 34 工廠，完成了首臺極紫外(EUV)光刻機的安裝。兩個月前，該公司才開始在該晶圓廠安裝首臺芯片制造設(shè)備。而由荷蘭阿斯麥(ASML)制造的這臺 EUV 光刻機，先是被運到了美國俄勒岡州的 Hillsboro，接著又被轉(zhuǎn)運到了歐洲。

　　目前尚不清楚英特爾為何要讓這臺機器繞地球這么一大圈，一種猜測是英特爾在俄勒岡州進行了早期檢測、以確保光刻機符合該公司的嚴格要求。

　　此外預(yù)計這臺機器是安裝在愛爾蘭 Fab 34 工廠中的第一臺 EUV 光刻機，并作為英特爾 7nm(Intel 4)工藝技術(shù)的關(guān)鍵推動者。

　　據(jù)說這套設(shè)備總共動用了 4 架未知型號的波音飛機來空運，然后由 35 輛卡車陸運至 Fab 34 。

　　最后，英特爾官方透露，自去年 12 月以來，這些“工具”已分批發(fā)送，但直到最近才完成組裝。

　　原標(biāo)題:英特爾愛爾蘭Fab 34芯片制造工廠迎來首臺EUV光刻機

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