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氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100V

氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100V，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，無需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制MFC3100V是一個(gè)可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會影響其正常的工作。

氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100V產(chǎn)品亮點(diǎn)：

-類型：MFC氣體質(zhì)量流量控制器

-控制范圍：30slpm ～ 125slpm （sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分）

-準(zhǔn)度等級：±1% F.S

-耐壓：≤70bar

-標(biāo)準(zhǔn)接口：0-5VDC，4-20mA可選

-響應(yīng)時(shí)間：≤2sec

-使用范圍：2~* for max range

-供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏率：1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接：1/4"SWG，1/8"SWG，3/8"SWG，1/4"VCR

-適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）

-無需溫度、壓力補(bǔ)償

氣體質(zhì)量流量控制器MFC3100V

產(chǎn)品型號	MFC3100V	MFC3100A
流量范圍（N2）	30slpm ～ 125slpm	30slpm ～ 125slpm
響應(yīng)時(shí)間	≤2秒	≤2秒
準(zhǔn)確度	≤±1% 滿量程	≤±1% 滿量程
重復(fù)精度	≤±0.25% 滿量程	≤±0.25% 滿量程
輸出輸入信號	0~5Vdc	0~5Vdc或4~20毫安
供電	+15~+28Vdc，350毫安	+15~+28Vdc，350毫安
耐壓	≤70 bar	≤70 bar
工作環(huán)境溫度	0~50 °C	0~50 °C

應(yīng)用領(lǐng)域：
－分析儀器     －干刻（RIE/DRIE）     －燃料電池
－生物技術(shù)    －氣相色譜分析         －等離子刻蝕
－激光焊機(jī)     －混氣配氣系統(tǒng)         －微反應(yīng)裝置
－真空鍍膜     －過程自動化           －石化工業(yè)

：劉

大連風(fēng)華傳感科技有限公司

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