4月29日，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中科儀”，證券代碼：920186)正式在北京證券交易所敲鐘上市，成為北交所重啟詢(xún)價(jià)發(fā)行后的首單硬科技企業(yè)，標(biāo)志著這家深耕真空技術(shù)與半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域六十余年的“中科院系”企業(yè)，邁入資本市場(chǎng)發(fā)展的全新階段。
 

　　中科儀本次上市公開(kāi)發(fā)行股票5200萬(wàn)股，發(fā)行后總股本達(dá)2.24億股，發(fā)行價(jià)格確定為16.21元/股，新股募集資金總額達(dá)8.43億元(扣除發(fā)行費(fèi)用后凈額7.79億元)，募集資金將全部聚焦核心業(yè)務(wù)，助力企業(yè)擴(kuò)大產(chǎn)能、深化技術(shù)研發(fā)，加速推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。
 

　　作為中國(guó)科學(xué)院控股體系核心企業(yè)，中科儀自1958年以中科院直屬事業(yè)單位身份成立以來(lái)，始終深耕真空技術(shù)領(lǐng)域，主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及相關(guān)技術(shù)服務(wù)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓制造、光伏電池等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，以及國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施和科研領(lǐng)域。依托中科院深厚的科研資源積淀，公司搭建起真空技術(shù)裝備國(guó)家工程研究中心、國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心三大國(guó)家級(jí)研發(fā)平臺(tái)，形成了完整的技術(shù)研發(fā)與成果轉(zhuǎn)化體系。
 

　　此次上市發(fā)行采用戰(zhàn)略投資者定向配售、網(wǎng)下詢(xún)價(jià)配售與網(wǎng)上定價(jià)發(fā)行相結(jié)合的方式，由招商證券擔(dān)任保薦機(jī)構(gòu)(主承銷(xiāo)商)。得益于公司的技術(shù)實(shí)力與行業(yè)地位，本次發(fā)行獲得了市場(chǎng)高度認(rèn)可，參與詢(xún)價(jià)的投資者涵蓋公募基金、證券公司、私募基金、保險(xiǎn)資管等各類(lèi)專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)，網(wǎng)下投資者及配售對(duì)象數(shù)量均處于北交所新股詢(xún)價(jià)前列。值得關(guān)注的是，中科儀第二大股東為國(guó)家集成電路基金，持股近20%，“中科院系+國(guó)家大基金”的雙重股東背景，進(jìn)一步增強(qiáng)了市場(chǎng)信心。最終確定的16.21元/股發(fā)行價(jià)格，既契合北交所支持硬科技企業(yè)發(fā)展的定位，也為二級(jí)市場(chǎng)投資者預(yù)留了充分的博弈和上漲空間，上市首日公司股價(jià)暴漲344%，市值飆升至161億元，充分體現(xiàn)了資本市場(chǎng)對(duì)其核心競(jìng)爭(zhēng)力與長(zhǎng)期發(fā)展?jié)摿Φ恼J(rèn)可。
 

　　本次募集的8.43億元資金，將嚴(yán)格按照既定規(guī)劃投入三大核心項(xiàng)目，聚焦半導(dǎo)體真空泵核心業(yè)務(wù)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能與技術(shù)的雙輪驅(qū)動(dòng)。其中，2.31億元將投入干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目，新建智能化產(chǎn)線，形成年產(chǎn)20040臺(tái)干式真空泵的產(chǎn)能，重點(diǎn)提升生產(chǎn)自動(dòng)化與智能化水平，緩解當(dāng)前國(guó)產(chǎn)真空泵供不應(yīng)求的市場(chǎng)缺口，滿足國(guó)內(nèi)晶圓廠對(duì)14nm及以下先進(jìn)制程設(shè)備的批量需求；4.74億元將投入高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目，擴(kuò)建高端半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)線，完善光刻、刻蝕等核心工藝環(huán)節(jié)的真空部件配套能力，同時(shí)建設(shè)研發(fā)中心，強(qiáng)化7nm以下先進(jìn)制程及化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)儲(chǔ)備；1.21億元將投入新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項(xiàng)目，研發(fā)超高速節(jié)能泵、超高溫泵等前沿產(chǎn)品，進(jìn)一步優(yōu)化極限真空度，攻克大抽速干式螺桿泵技術(shù)，適配128層以上3D NAND等存儲(chǔ)芯片的苛刻工藝需求。
 

　　據(jù)悉，長(zhǎng)期以來(lái)半導(dǎo)體用干式真空泵市場(chǎng)被歐美、日本企業(yè)主導(dǎo)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)高度依賴(lài)進(jìn)口。而中科儀憑借多年技術(shù)積累，已實(shí)現(xiàn)核心產(chǎn)品的重大技術(shù)突破，成為目前國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)集成電路先進(jìn)制程批量應(yīng)用，且同時(shí)在清潔、中等、苛刻三類(lèi)芯片制造工藝中完成規(guī)?；涞氐谋就疗髽I(yè)。截至2025年末，公司已擁有授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利103項(xiàng)，牽頭或參與制定13項(xiàng)國(guó)家、行業(yè)及團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，各類(lèi)干式真空泵累計(jì)出貨量突破4萬(wàn)臺(tái)。
 

　　財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，2022-2025年，中科儀營(yíng)業(yè)收入從6.98億元增長(zhǎng)至12.91億元，連續(xù)多年保持正增長(zhǎng)，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)22.75%，同期凈利潤(rùn)也保持持續(xù)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，穩(wěn)健的業(yè)績(jī)表現(xiàn)為企業(yè)發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)支撐。業(yè)內(nèi)人士表示，隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控進(jìn)程持續(xù)推進(jìn)，核心設(shè)備與零部件的國(guó)產(chǎn)化已成為行業(yè)發(fā)展的明確趨勢(shì)，中科儀此次登陸北交所并成功募資，不僅能夠進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)能、深化核心技術(shù)研發(fā)，鞏固其在國(guó)產(chǎn)干式真空泵領(lǐng)域的地位，更將為國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全提供更堅(jiān)實(shí)支撐，助力國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。